铁电薄膜在医学、微电子、航空航天、国防等国家基础性行业中发挥着越来越不可替代的作用，然而铁电薄膜中的应力效应以及目前测试技术中存在的诸多问题严重限制了其在高精密器件中的进一步应用。为此，本项目从铁电薄膜基本物理性质的测试方法入手，系统地研究内应力和外加应力对铁电薄膜主要物理性质（压电性质、应变性能、铁电性质等）的影响规律及其作用机理，建立铁电薄膜畴结构演化的计算模型，在实验和计算的基础上提出考虑应力效应的铁电薄膜－基底系统的本构关系，为铁电薄膜高精密器件的设计提供理论指导；同时，本项目将发展扫描探针－声学显微术、激光多谱勒显微测振法等先进方法对铁电薄膜进行测试和检测，将有效地推动国内铁电薄膜测试水平的提高。