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柔性MEMS谐振式加速度计的共形设计与热弹性耦合动力学分析

批准号：
--
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
30 万元
负责人：
林晨
依托单位：
清华大学
学科分类：
动力学设计与反问题
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
林晨
关键词：
热弹性耦合动力学分析加速度计柔性MEMS谐振式共形

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