课题基金基金详情
极紫外光刻多层膜反射镜EUV辐照损伤研究
批准号：
--
项目类别：
面上项目
资助金额：
55 万元
负责人：
李文斌
依托单位：
同济大学
学科分类：
--
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
李文斌
关键词：
EUV辐照损伤研究极紫外光刻多层膜反射镜
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X射线自由电子激光薄膜光学元件抗损伤性能研究
  • 批准号：
    11875203
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    66.0万元
  • 批准年份：
    2018
  • 负责人：
    李文斌
  • 依托单位：
    同济大学
光学薄膜材料极紫外辐射损伤机理研究
  • 批准号：
    11375130
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    102.0万元
  • 批准年份：
    2013
  • 负责人：
    李文斌
  • 依托单位：
    同济大学
“交叉相关”实验方法在自由电子激光诊断中的模拟研究
  • 批准号：
    11075118
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    40.0万元
  • 批准年份：
    2010
  • 负责人：
    李文斌
  • 依托单位：
    同济大学
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