极紫外光刻多层膜反射镜EUV辐照损伤研究
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X射线自由电子激光薄膜光学元件抗损伤性能研究
- 批准号:11875203
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:66.0万元
- 批准年份:2018
- 负责人:李文斌
- 依托单位:
光学薄膜材料极紫外辐射损伤机理研究
- 批准号:11375130
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:102.0万元
- 批准年份:2013
- 负责人:李文斌
- 依托单位:
“交叉相关”实验方法在自由电子激光诊断中的模拟研究
- 批准号:11075118
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:40.0万元
- 批准年份:2010
- 负责人:李文斌
- 依托单位:
国内基金
海外基金
