课题基金基金详情
极紫外光刻多层膜反射镜EUV辐照损伤研究
批准号:
--
项目类别:
面上项目
资助金额:
55 万元
负责人:
李文斌
依托单位:
学科分类:
--
结题年份:
--
批准年份:
2022
项目状态:
未结题
项目参与者:
李文斌
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X射线自由电子激光薄膜光学元件抗损伤性能研究
  • 批准号:
    11875203
  • 项目类别:
    面上项目
  • 资助金额:
    66.0万元
  • 批准年份:
    2018
  • 负责人:
    李文斌
  • 依托单位:
光学薄膜材料极紫外辐射损伤机理研究
  • 批准号:
    11375130
  • 项目类别:
    面上项目
  • 资助金额:
    102.0万元
  • 批准年份:
    2013
  • 负责人:
    李文斌
  • 依托单位:
“交叉相关”实验方法在自由电子激光诊断中的模拟研究
  • 批准号:
    11075118
  • 项目类别:
    面上项目
  • 资助金额:
    40.0万元
  • 批准年份:
    2010
  • 负责人:
    李文斌
  • 依托单位:
国内基金
海外基金