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物理气相传输法制备大尺寸碳化硅过程中宏观物理量对晶体缺陷的影响机理研究

批准号：
--
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
30 万元
负责人：
韩学峰
依托单位：
浙江大学
学科分类：
碳素材料与超硬材料
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
韩学峰
关键词：
物理气相传输法大尺寸碳化硅晶体缺陷宏观物理量

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