课题基金 / 基金详情

用于LSI电位测量的二次电子能量分析器的实验研究

批准号：
68776005
项目类别：
面上项目
资助金额：
2.5 万元
负责人：
桂裕宗
依托单位：
清华大学
学科分类：
集成电路设计
结题年份：
1989
批准年份：
1987
项目状态：
已结题
项目参与者：
关键词：
LSI 电位测量 二次电子 能量分析器 实验研究

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