课题基金基金详情
用于LSI电位测量的二次电子能量分析器的实验研究
批准号:
68776005
项目类别:
面上项目
资助金额:
2.5 万元
负责人:
桂裕宗
依托单位:
学科分类:
F0402.集成电路设计
结题年份:
1989
批准年份:
1987
项目状态:
已结题
项目参与者:
--
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