课题基金基金详情
LSI工艺及器件参数统计模拟系统
批准号：
68676020
项目类别：
面上项目
资助金额：
4.0 万元
负责人：
夏武颖
依托单位：
中国科学院微电子研究所
学科分类：
F04.半导体科学与信息器件
结题年份：
1990
批准年份：
1986
项目状态：
已结题
项目参与者：
--
关键词：
LSI工艺 器件参数 统计模拟 半导体器件 过程控制
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