LSI工艺及器件参数统计模拟系统
批准号:
68676020
项目类别:
面上项目
资助金额:
4.0 万元
负责人:
夏武颖
依托单位:
学科分类:
半导体科学与信息器件
结题年份:
1990
批准年份:
1986
项目状态:
已结题
项目参与者: