课题基金基金详情
GaAs光电集成中器件基础工艺及器件物理研究
批准号：
68676022
项目类别：
面上项目
资助金额：
4.0 万元
负责人：
庄婉如
依托单位：
中国科学院半导体研究所
学科分类：
F04.半导体科学与信息器件
结题年份：
1989
批准年份：
1986
项目状态：
已结题
项目参与者：
--
关键词：
GaAs光电集成器件工艺器件物理半导体器件
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GaAs/Si衬底上激光器的研制及其特性
  • 批准号：
    68880709
  • 项目类别：
    专项基金项目
  • 资助金额：
    2.5万元
  • 批准年份：
    1988
  • 负责人：
    庄婉如
  • 依托单位：
    中国科学院半导体研究所
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