MOCVD工艺模拟软件的开发
批准号：
69587004
项目类别：
专项基金项目
资助金额：
8.5 万元
负责人：
陈维友
依托单位：
学科分类：
光子与光电子器件
结题年份：
1998
批准年份：
1995
项目状态：
已结题
项目参与者：
赵铁民、彭宇恒、安海岩、王本中
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