均热板因其高效均热性能而在光电领域应用广泛，吸液芯一直是其制造的重点和难点问题。项目组以均热板吸液芯制造为突破口，开展了均热板的关键制造技术及理论的研究。完成了均热板多支路回流型吸液芯结构设计，采用几何模型和热阻网络分析的方法，建立了相关数学模型；进行了多支路回流型吸液芯型均热板的数值分析与设计优化，建立了均热板的物理模型、控制方法，确立了相关边界条件，搭建了有限元分析简化模型及网格划分，探讨了热源分布、支撑柱分布对均热板性能的影响规律。提出了微沟槽的犁切技术，利用SEM和金相技术观察并分析了微沟槽的成形机理，优化了犁切刀具结构。研究了复合吸液芯的犁切-热处理复合成形技术和犁切-固相烧结复合成形技术，分析了结构的成形机理，优化了工艺技术参数；利用红外测试和可视化观察技术，分析了复合吸液芯结构参数和工艺参数对其毛细性能的影响规律；采用金相观察和显微硬度的手段分析了均热板烧结扩散焊接的焊接机理，研究了烧结温度、保温时间和初始压力对焊接接头强度的影响规律；确立了多支路回流型吸液芯型均热板的制造工艺，分析了热源分布和支撑柱分布对均热板性能的影响。项目成果，对均热板的设计与制造提供了重要的理论与技术支撑。