原子簇（纳米粒子）沉积合成纳米新材料已受到广泛关注。实验表明合成的纳米结与沉积粒子的能量、尺寸、通量及衬底特征参量密切相关，而纳米结构又直接影响材料的物理性能。本课题用计算机模拟研究低能原子簇在表面沉积、扩散和聚集的物理过程，并与实验测量相结合，研究实验参数对原子簇-表面相互作用的影响，探索控制纳米结构的实验条件。