研究各类分子沉积膜及其复合膜的微观结构以及纳米力学性能、粘附特性和摩擦学特性，揭示并阐明其摩擦磨损机理。初步筛选出具有应用前景的新的MD膜体系。本研究不仅对发展纳米膜的润滑理论与磨损理论以及微纳米机构的摩擦学设计方法具有重要的学术价值，而且对开发微型机械和微机电系统的润滑和抗磨技术也具有重要的学术价值，而且对开发微型机械和微机电系统的润滑和抗磨技术也具有重要的实际意义。