PECVD纳米晶粒硅薄膜及其调制结构的可见光致发光研究
批准号:
19474017
项目类别:
面上项目
资助金额:
8.0 万元
负责人:
刘湘娜
依托单位:
学科分类:
凝聚态物质结构、相变和晶格动力学
结题年份:
1997
批准年份:
1994
项目状态:
已结题
项目参与者:
廖良生、阎锋、邹达、冯清海、佟嵩、吴小薇