课题基金
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基金详情
生长超薄GaAlAs外延层的液相外延技术研究
批准号:
69246002
项目类别:
专项基金项目
资助金额:
4.0 万元
负责人:
宋南辛
依托单位:
浙江大学
学科分类:
半导体材料
结题年份:
1995
批准年份:
1992
项目状态:
已结题
项目参与者:
康晓黎、李饧华、朱丽津、蒋睿
关键词:
GaAlAs
液相外延
超薄外延层
生长
半导体材料
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