UV-LIGA成型真空太赫兹微结构的关键技术研究
批准号：
--
项目类别：
专项基金项目
资助金额：
10 万元
负责人：
李含雁
依托单位：
学科分类：
微纳机械系统
结题年份：
--
批准年份：
2020
项目状态：
未结题
项目参与者：
李含雁
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