复合微纳粒子设计及金属超精射流抛光增效机制研究
批准号：
--
项目类别：
面上项目
资助金额：
58 万元
负责人：
郭丹
依托单位：
清华大学
学科分类：
--
结题年份：
--
批准年份：
2021
项目状态：
未结题
项目参与者：
郭丹
关键词：
复合微纳粒子设计射流金属
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超精表面加工中基于纳米颗粒接触原子磨损的无损伤去除机理研究
  • 批准号：
    51375255
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    85.0万元
  • 批准年份：
    2013
  • 负责人：
    郭丹
  • 依托单位：
    清华大学
超低k介质/铜异质表面平坦化中的界面原子/分子迁移行为与损伤机制研究
  • 批准号：
    91023016
  • 项目类别：
    重大研究计划
  • 资助金额：
    58.0万元
  • 批准年份：
    2010
  • 负责人：
    郭丹
  • 依托单位：
    清华大学
超光滑表面加工中纳米颗粒与表面间的微观作用机制研究
  • 批准号：
    50775121
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    35.0万元
  • 批准年份：
    2007
  • 负责人：
    郭丹
  • 依托单位：
    清华大学
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