复合微纳粒子设计及金属超精射流抛光增效机制研究
批准号:
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项目类别:
面上项目
资助金额:
58 万元
负责人:
郭丹
依托单位:
学科分类:
新型材料制备技术与数字制造
结题年份:
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批准年份:
2021
项目状态:
未结题
项目参与者:
郭丹
超精表面加工中基于纳米颗粒接触原子磨损的无损伤去除机理研究
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批准号:51375255
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项目类别:面上项目
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资助金额:85.0万元
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批准年份:2013
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负责人:郭丹
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依托单位:
超低k介质/铜异质表面平坦化中的界面原子/分子迁移行为与损伤机制研究
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批准号:91023016
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项目类别:重大研究计划
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资助金额:58.0万元
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批准年份:2010
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负责人:郭丹
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依托单位:
超光滑表面加工中纳米颗粒与表面间的微观作用机制研究
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批准号:50775121
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项目类别:面上项目
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资助金额:35.0万元
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批准年份:2007
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负责人:郭丹
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依托单位:
国内基金
海外基金