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异质外延膜CaF2/Si的界面和表面结构研究

批准号：
68776048
项目类别：
面上项目
资助金额：
3.0 万元
负责人：
蔡思民
依托单位：
清华大学
学科分类：
半导体材料
结题年份：
1989
批准年份：
1987
项目状态：
已结题
项目参与者：
关键词：
异质外延膜CaF2/Si界面结构表面结构

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