课题基金 / 基金详情

基于聚焦氦离子束加工工艺的高温超导SQUID磁强计的研发

批准号：
--
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
30 万元
负责人：
李浩
依托单位：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
学科分类：
半导体电子器件与集成
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
李浩
关键词：
高温超导SQUID磁强计聚焦氦离子束加工工艺

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