课题基金
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基金详情
基于高k复合栅介质增强的不同晶向β-Ga2O3 MOS界面调控机理研究
批准号:
--
项目类别:
青年科学基金项目
资助金额:
30 万元
负责人:
贾一凡
依托单位:
西安邮电大学
学科分类:
集成电路设计
结题年份:
--
批准年份:
2022
项目状态:
未结题
项目参与者:
贾一凡
关键词:
β-Ga2O3
复合栅介质
晶向
MOS界面
栅介电层
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