面向高世代的长节距、高密度ITO旋转靶材制备关键科学问题研究
批准号：
U21A2065
项目类别：
资助金额：
260.00 万元
负责人：
徐华蕊
依托单位：
学科分类：
无机非金属半导体与信息功能材料
结题年份：
--
批准年份：
2021
项目状态：
未结题
项目参与者：
徐华蕊
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依托单位：
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