课题基金 / 基金详情

新型非化学放大型极紫外(EUV)光刻胶材料体系构建、光刻机理和工艺研究

批准号：
22475224
项目类别：
面上项目
资助金额：
50.00 万元
负责人：
陈金平
依托单位：
中国科学院理化技术研究所
学科分类：
化学科学部
结题年份：
--
批准年份：
2024
项目状态：
未结题
项目参与者：
陈金平
关键词：
--

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  • 批准号：
    20603042
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    25.0万元
  • 批准年份：
    2006
  • 负责人：
    陈金平
  • 依托单位：
    中国科学院理化技术研究所
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