面向量子计算应用的SOI-FinFET器件低温机理及模型研究
批准号：
62374174
项目类别：
面上项目
资助金额：
48.00 万元
负责人：
卜建辉
依托单位：
学科分类：
半导体电子器件与集成
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
卜建辉
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