硅基钯电阻式MEMS高灵敏缓释氢传感器关键技术研究
批准号：
62374148
项目类别：
面上项目
资助金额：
48.00 万元
负责人：
闫树斌
依托单位：
学科分类：
微纳机械系统
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
闫树斌
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