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绝缘体辐射诱导电荷致工作态三明治式MEMS加速度计敏感结构非单向性损伤机制研究

批准号：
12305313
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
30.00 万元
负责人：
刘珉强
依托单位：
中国工程物理研究院电子工程研究所
学科分类：
固体强度、损伤、断裂与疲劳
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
刘珉强
关键词：
绝缘体辐射诱导电荷致工作态三明治式MEMS加速度计非单向性损伤机制

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