基于Gemini型聚合物定向自组装的10纳米以下光刻胶可控制备及其应用基础
批准号：
U21A20313
项目类别：
资助金额：
260.00 万元
负责人：
侯琳熙
依托单位：
学科分类：
高分子材料制备
结题年份：
--
批准年份：
2021
项目状态：
未结题
项目参与者：
侯琳熙
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