刷新
{{item.name}}会员
基于模式调制滤波方法的EUV光刻系统驱动光源波前探测与调控机理研究
批准号：
62305327
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
30.00 万元
负责人：
徐志强
依托单位：
学科分类：
F0508.应用光学
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
徐志强
国基评审专家1V1指导 中标率高出同行96.8%
结合最新热点，提供专业选题建议
深度指导申报书撰写，确保创新可行
指导项目中标800+，快速提高中标率
微信扫码咨询
国内基金
海外基金
