课题基金 / 基金详情

激光ＣＶＤ纳米氮化硅的成核生长机理研究

批准号：
59402003
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
7.0 万元
负责人：
王卫乡
依托单位：
华南师范大学
学科分类：
结构陶瓷
结题年份：
1997
批准年份：
1994
项目状态：
已结题
项目参与者：
张有、陈可心、廖健宏、梅宴标、陈强、吉玉泓
关键词：
成核生长激光化学气相沉积纳米氮化硅

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