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基于TiN的半导体二次电子抑制理论及低阻薄膜可控制备研究

批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
夏扬
依托单位：
重庆工商职业学院
学科分类：
无机非金属材料
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
夏扬
关键词：
TiN半导体二次电子抑制低阻薄膜可控制备

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