基于多焦点及动态球差校正的SiC晶圆激 光加工设备及关键部件研发
批准号：
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项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
依托单位：
学科分类：
无机非金属材料
结题年份：
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批准年份：
2024
项目状态：
未结题
项目参与者：
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