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集成电路先进制程用超高纯电子特气7N级及以上超纯氨制造关键技术研究

批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
依托单位：
和远潜江电子特种气体有限公司
学科分类：
有机高分子材料
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
关键词：
高分子膜分离气体净化材料膜层次结构杂质捕捉剂表界面调控

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