Si基Ge/InGaAs高性能CMOS器件集成技术及器件可靠性研究
批准号：
LZ19F040001
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
赵毅
依托单位：
学科分类：
金属材料
结题年份：
--
批准年份：
2018
项目状态：
未结题
项目参与者：
赵毅
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