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面向超精密运动平台角运动误差高精度测量的光学频率梳“角度时钟”传感器基础研究
批准号：
LY19E050018
项目类别：
省市级项目
资助金额：
--
负责人：
陈远流
依托单位：
浙江大学
学科分类：
A02.分析学
结题年份：
--
批准年份：
2018
项目状态：
未结题
项目参与者：
陈远流
关键词：
超精密运动平台角运动误差光学频率梳角度时钟传感器高精度测量
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全驱动链感知反馈的跨尺度超精密加工快速刀具伺服基础技术研究
  • 批准号：
    U22A20207
  • 项目类别：
    联合基金项目
  • 资助金额：
    255.00万元
  • 批准年份：
    2022
  • 负责人：
    陈远流
  • 依托单位：
    浙江大学
超精密元件亚表面微纳缺陷声场激励扫描探针测量机理与方法
  • 批准号：
    51975522
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    61.0万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    陈远流
  • 依托单位：
    浙江大学
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