面向超精密运动平台角运动误差高精度测量的光学频率梳“角度时钟”传感器基础研究
批准号:
LY19E050018
项目类别:
省市级项目
资助金额:
万元
负责人:
陈远流
依托单位:
学科分类:
分析学
结题年份:
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批准年份:
2018
项目状态:
未结题
项目参与者:
陈远流
全驱动链感知反馈的跨尺度超精密加工快速刀具伺服基础技术研究
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批准号:U22A20207
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项目类别:联合基金项目
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资助金额:255.00万元
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批准年份:2022
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负责人:陈远流
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依托单位:
超精密元件亚表面微纳缺陷声场激励扫描探针测量机理与方法
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批准号:51975522
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项目类别:面上项目
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资助金额:61.0万元
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批准年份:2019
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负责人:陈远流
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依托单位:
国内基金
海外基金