硬脆材料集成微光学器件的飞秒激光空化辅 助烧蚀多场融合制备研究
批准号：
Q24F050050
项目类别：
省市级项目
资助金额：
--
负责人：
滑建冠
依托单位：
甬江实验室
学科分类：
E02.无机非金属材料
结题年份：
--
批准年份：
2024
项目状态：
未结题
项目参与者：
滑建冠
关键词：
硬脆材料 集成微光学器件 飞秒激光空化 多场融合制备 烧蚀
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面向集成微光学器件的硬脆材料激光空化烧蚀制备技术与机理研究
  • 批准号：
    62305286
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    30.00万元
  • 批准年份：
    2023
  • 负责人：
    滑建冠
  • 依托单位：
    甬江实验室
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