课题基金
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基金详情
12英寸CMOS兼容硅基光子集成芯片制备技术
批准号:
2025C01002
项目类别:
省市级项目
资助金额:
万元
负责人:
林宏焘
依托单位:
浙江大学
学科分类:
无机非金属材料
结题年份:
--
批准年份:
2025
项目状态:
未结题
项目参与者:
林宏焘
关键词:
硅基光子
CMOS兼容
集成芯片
制备技术
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61975179
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批准年份:
2019
负责人:
林宏焘
依托单位:
浙江大学
国内基金
海外基金
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