12英寸CMOS兼容硅基光子集成芯片制备技术
批准号：
2025C01002
项目类别：
省市级项目
资助金额：
--
负责人：
林宏焘
依托单位：
浙江大学
学科分类：
E02.无机非金属材料
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
林宏焘
关键词：
硅基光子CMOS兼容集成芯片制备技术
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  • 批准号：
    61975179
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    63.0万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    林宏焘
  • 依托单位：
    浙江大学
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