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基于铝钪氮和氧化铟镓锌的薄膜铁电晶体管及其三维集成研究

批准号：
D25F040011
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
赵亮
依托单位：
浙江大学
学科分类：
金属材料
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
赵亮
关键词：
铝钪氮薄膜氧化铟镓锌铁电晶体管三维集成薄膜半导体

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    0.0万元
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    2023
  • 负责人：
    赵亮
  • 依托单位：
    浙江大学
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    8.0万元
  • 批准年份：
    2003
  • 负责人：
    赵亮
  • 依托单位：
    浙江大学
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