课题基金 / 基金详情

面向芯片制程检测的180kV微焦点X射线源关键技术的研发

批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
依托单位：
无锡日联科技股份有限公司
学科分类：
电气科学与工程
结题年份：
--
批准年份：
2024
项目状态：
未结题
项目参与者：
关键词：
微焦点X射线源 180kV高压电源 芯片制程检测 射线焦点控制 电磁驱动技术

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