课题基金 / 基金详情

光CVD非晶硅簿膜制备,机理和性能研究

批准号：
18670751
项目类别：
面上项目
资助金额：
2.5 万元
负责人：
陈存礼
依托单位：
南京大学
学科分类：
量子调控
结题年份：
1988
批准年份：
1986
项目状态：
已结题
项目参与者：
关键词：
光化学气相沉积非晶硅薄膜制备性能

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