EUV光源驱动器用高效交叉弛豫Tm:LiYF4激光晶体性能优化研究
批准号:
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项目类别:
省市级项目
资助金额:
万元
负责人:
李善明
依托单位:
学科分类:
无机非金属材料
结题年份:
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批准年份:
2023
项目状态:
未结题
项目参与者:
李善明