石英玻璃衬底上原子层沉积GaN 薄膜及其在 LED 器件中的应用研究
批准号：
2022JJ40163
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
刘三姐
依托单位：
学科分类：
无机非金属材料
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
刘三姐
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依托单位：
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