氮化镓紫外光辅助超精密表面加工中的微观去除机制
批准号：
2023JJ30514
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
郭剑
依托单位：
学科分类：
无机非金属材料
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
郭剑
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依托单位：
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