氮化镓紫外光辅助超精密表面加工中的微观去除机制
批准号：
2023JJ30514
项目类别：
省市级项目
资助金额：
--
负责人：
郭剑
依托单位：
南华大学
学科分类：
E02.无机非金属材料
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
郭剑
关键词：
氮化镓紫外光辅助超精密表面加工微观去除
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硅基高深宽比纳米通道结构的摩擦化学诱导无损伤加工研究
  • 批准号：
    2019JJ50518
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    0.0万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    郭剑
  • 依托单位：
    南华大学
高光效LED氮化镓衬底的无损伤机械-化学交互材料微观去除机制研究
  • 批准号：
    51805240
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    26.0万元
  • 批准年份：
    2018
  • 负责人：
    郭剑
  • 依托单位：
    南华大学
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