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4H-SiC同质外延缓冲层工艺对外延层质量和器件可靠性影响的研究

批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
10.0 万元
负责人：
宋华平
依托单位：
松山湖材料实验室
学科分类：
金属材料
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
宋华平
关键词：
4H-SiC同质外延缓冲层外延层质量器件可靠性金属材料E03

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