课题基金 / 基金详情

CCP集成电路刻蚀工艺中等离子体和匹配网络的数值模拟研究

批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
10.0 万元
负责人：
曹勇
依托单位：
哈尔滨工业大学(深圳)
学科分类：
等离子体物理
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
曹勇
关键词：
等离子体刻蚀 电容耦合等离子体 匹配网络 数值模拟 CCP放电

相似基金

相关文献

国内基金
海外基金