基于脉冲激光沉积（PLD）制备ε相-氧化镓薄膜成膜机理及应力调控研究
批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
15.0 万元
负责人：
刘向力
依托单位：
哈尔滨工业大学（深圳）
学科分类：
B03.化学理论与机制
结题年份：
--
批准年份：
2024
项目状态：
未结题
项目参与者：
刘向力
关键词：
脉冲激光沉积 ε相氧化镓 薄膜应力 成膜过程 结构调控
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