基于脉冲激光沉积(PLD)制备ε相-氧化镓薄膜成膜机理及应力调控研究
批准号:
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项目类别:
省市级项目
资助金额:
15.0 万元
负责人:
刘向力
依托单位:
学科分类:
化学理论与机制
结题年份:
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批准年份:
2024
项目状态:
未结题
项目参与者:
刘向力
一种基于HiPIMS电源的复杂结构陶瓷表面溅射沉积金属薄膜的机理研究
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批准号:--
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项目类别:省市级项目
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资助金额:10.0万元
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批准年份:2022
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负责人:刘向力
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依托单位:
国内基金
海外基金