基于大倾角蓝宝石衬底与空气孔洞解耦 的AlN单晶薄膜在高温作用下的应力演化 规律与调控机制研究
批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
10.0 万元
负责人：
吴华龙
依托单位：
学科分类：
微分方程与动力系统
结题年份：
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批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
吴华龙
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