课题基金 / 基金详情

石墨烯/硅超表面集成EUV探测器设计及 制备工艺研究

批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
10.0 万元
负责人：
冯波
依托单位：
湖大粤港澳大湾区创新研 究院（广州增城）
学科分类：
无机非金属材料
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
冯波
关键词：
石墨烯硅超表面极紫外探测器集成设计制备工艺

相似基金

相关文献

国内基金
海外基金