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碳化硅晶圆的磨粒切削-滚压热力调控机 理及策略研究

批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
10.0 万元
负责人：
何铨鹏
依托单位：
南方科技大学
学科分类：
计算数学
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
何铨鹏
关键词：
磨粒切削滚压热力调控碳化硅晶圆策略研究热力学模型

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