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基于ScAlN薄膜的高灵敏度压电MEMS超声 相控阵研究

批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
10.0 万元
负责人：
刘文娟
依托单位：
武汉大学深圳研究院
学科分类：
无机非金属材料
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
刘文娟
关键词：
ScAlN薄膜压电性能MEMS器件超声相控阵高灵敏度

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