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晶圆表面微凸体-研磨液耦合的微观接触 力学行为及动态磨损机理研究

批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
10.0 万元
负责人：
孙韵韵
依托单位：
武汉大学深圳研究院
学科分类：
微分方程与动力系统
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
孙韵韵
关键词：
晶圆表面微凸体-研磨液耦合微观接触力学行为动态磨损

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