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基于等离子体性质调控策略设计c- TiAlSiN涂层结构及性能研究

批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
10.0 万元
负责人：
吴正涛
依托单位：
广东工业大学
学科分类：
等离子体物理
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
吴正涛
关键词：
等离子体调控薄膜沉积TiAlSiN涂层结构设计性能优化

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    --
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  • 资助金额：
    10.0万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    吴正涛
  • 依托单位：
    广东工业大学
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  • 批准号：
    51901048
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    24.0万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    吴正涛
  • 依托单位：
    广东工业大学
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