半导体材料表面微量杂质的三维微分析
批准号：
29475215
项目类别：
面上项目
资助金额：
7.0 万元
负责人：
刘亚雯
依托单位：
学科分类：
谱学方法与理论
结题年份：
1997
批准年份：
1994
项目状态：
已结题
项目参与者：
范钦敏、魏成连、吴强、吴应荣
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