300mm硅片平坦化添加剂吸附机理与平坦度调控研究
批准号：
62474183
项目类别：
面上项目
资助金额：
49.00 万元
负责人：
朱雷
依托单位：
学科分类：
信息科学部
结题年份：
--
批准年份：
2024
项目状态：
未结题
项目参与者：
朱雷
关键词：
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